800cc全讯白菜网主站面向集成电路材料研发共性问题，建设开放性的集成电路材料应用研发平台，提供包括性能检测、工艺验证、计算仿真、材料研发等服务，为企业提供材料研发、测试验证的服务直通车。
服务内容
包装材料服务能力
800cc全讯白菜网主站包装材料检测分析服务，致⼒于解决包装材料⽣产商及应⽤商在实际⽣产⼯艺中，对FOSB、FOUP等晶圆载具及其他包装材料的检测需求。
○ 检测内容包括
阳离子污染物测试
阴离子污染物测试
密闭性测试
挥发性有机污染物测试
耐摔性测试
particle产生可能性分析等
包装材料检测分析
案 例
○ 晶圆盒粗糙度测试
测试详情:FOSB不同Slot部位的粗糙度
测试设备:表面轮廓仪
单位：μm
结论:
FOSB不同Slot部位的粗糙度Sa存在差异Step2位置的粗糙度Sa比Step1和3高
○ 晶圆盒金杂测试
测试详情:不同FOSB清洗液的金属离子污染物浓度测试
测试设备:ICPMS
可测试元素种类:34种
单位：ppm
结论:
不同FOSB金属离子污染物浓度存在差异,与清洗、生产等样品状态同样存在较大关联
Na、K、Ca等环境相关离子浓度显著高于其他离子浓度
○ 晶圆盒VOCs测试
测试详情:不同FOSB内部挥发性有机污染物浓度在线测试
测试设备:PTR-TOF
可测试VOCs种类:>90种,可根据需求添加清单物质
单位：ppm
结论:
不同FOSB内部挥发性有机物浓度在不同温度下呈现不同结果TVOC65°C下两者差异较大，100°C两者比较接近
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