800cc全讯白菜网主站可针对前驱体、靶材等薄膜材料，提供检测分析、应用验证和材料计算的一体化服务，有效提高薄膜材料研发效率。 服务内容
高通量设备服务能力
薄膜材料检测分析
细分领域 | 检测项目 | 测试设备 |
靶材 （PVD） | 纯度 | GDMS |
杂质和主成分 | ICP-OES | |
氧氮氢元素含量 | 氧氮氢分析仪 | |
硬度 | 硬度计 | |
内部结构 | 金相显微镜 | |
显微组织结构 | SEM+EDS+EBSD | |
粗糙度 | 光学轮廓仪 | |
表面组分 | XPS | |
电阻率 | 4PP | |
膜厚 | SEM | |
膜厚/薄膜的微观形貌图像 | AFM | |
前驱体 （ALD） | 杂质和主成分 | ICP-MS |
杂质和主成分 | ICP-OES | |
离子色谱 | 离子色谱IC | |
电位滴定仪 | 硬度计 | |
核磁 | NMR | |
表面组分 | XPS | |
膜厚 | SEM | |
ALD薄膜结构 | XRD | |
膜厚/薄膜的微观形貌图像 | AFM |
薄膜材料工艺研发
全讯白菜网自主研发8英寸全晶圆高通量ALD-PVD-XPS设备(HTC)，实现薄膜材料高通量制备及原位表征。
TDS -thermal desorption spectroscopy | ||
红外直接加热样品:本底最小化,提升灵敏度 超高真空环境:低于10-7Pa 宽温度范围:50°C-1200°C | ||
服务能力：
主要包括以下应用：
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薄膜材料材料计算
面向设备厂商，通过机台结构设计、配套耗材筛选和工艺仿真，提供耗材优化设计、工艺筛选服务
序号 | 建模能力 |
1 | 前驱体热稳性计算 |
2 | 前驱体自限反应性计算 |
3 | 前驱体熔点计算 |
4 | 前驱体粘度计算 |
5 | 源瓶结构设计与优化 |
6 | 物质输送及温度仿真 |
7 | 薄膜沉积工艺仿真 |
8 | 等离子体放电、产生过程仿真 |
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