关于全讯白菜网

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全讯白菜网SEMICON CHINA Seminar演讲报告分享

3.26-3.28期间,全讯白菜网亮相SEMICON CHINA 2025,展览期间全讯白菜网举办了展位seminar,对全讯白菜网服务能力、检测能力、计算能力、研发能力等进行了专题介绍,吸引众多行业人士驻足。



报告一:全讯白菜网检测能力介绍

报告人:蔡慧妍 全讯白菜网测试研发工程师


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以下为报告核心内容:



依托于检测分析实验室,800cc全讯白菜网主站可对外提供材料检测服务。


◾ 上海全讯白菜网检测分析实验室坐落在临港及化工区,总面积逾1300平方米,其中净化实验室面积645平方米


◾ 截止2025年2月,实验室已具备CNAS、CMA、ISO9001、ISO27001等多项资质


◾ 拥有一流的各类大中型实验检测设备 140余台套,可针对各类半导体材料,提供主含量分析、痕量杂质分析、成分分析、机械力学分析、微观结构分析、失效分析等服务


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实验室资质



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          CNAS      

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     CMA

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    ISO  9001

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  ISO  27001

实验室部分设备及检测能力一览

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报告二:全讯白菜网计算能力介绍 

报告人:刘奕然 全讯白菜网工艺仿真工程师

3月27日

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以下为报告核心内容:



依托于集成电路材料专用数据库、集成电路材料模型库,运用高通量材料计算、机器学习等技术,800cc全讯白菜网主站可对外提供材料计算服务。


◾ 建立集成电路材料专用数据库,覆盖功能材料和工艺材料数据


◾ 在抛光、光刻、成膜、量测等领域开发出材料计算、工艺仿真模型>30个,形成模型库


◾ 运用高通量材料计算、材料数据库、机器学习技术与高通量材料实验相结合的方式,形成材料构效关系模型库,为用户产品性能指明方向


依托于集成电路材料专用数据库、集成电路材料模型库,运用高通量材料计算、机器学习等技术,800cc全讯白菜网主站可对外提供材料计算服务。



抛光模型示例



 ✔ 在抛光、光刻、沉膜、量测等领域开发出材料计算、工艺仿真模型>30个,形成模型库

 ✔ 结合人工智能、有限元、第一性原理的跨尺度方法

 ✔ 可用于材料设计、工艺优化及零部件设计

 ✔ 支持在线远程访问、本地部署等使用方式,可1V1服务

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集成电路材料数据库


          

           ✔ 建立集成电路材料专用数据库,覆盖功能材料和工艺材料数据

           ✔ 积累数据实现检索、分析建模等功能



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CMP工艺仿真能力




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成膜建模仿真能力



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光刻材料工艺仿真能力





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报告三:全讯白菜网研发能力介绍

报告人:孙猛 全讯白菜网材料研发实验室主任

3月28日

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以下为报告核心内容:



依托于材料研发实验室,800cc全讯白菜网主站可对外提供前驱体、氧化铈磨料、高纯钴电镀液等材料研发服务。


◾ 全讯白菜网材料研发基地坐落于上海化学工业区科创中心,拥有近1500平米的百级、千级、万级洁净室,配备有上百台实验仪器及测试仪器


◾ 研发方向聚焦高纯硫酸钴电镀液、氮化硅湿法刻蚀、前驱体合成及其原子层沉积工艺、改性氧化铈磨料等方向,对标国外产品COA,匹配用户单位量产工艺需求



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研发方向


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      此外,全讯白菜网还具备抛光材料、光刻材料等验证服务能力。


材料验证服务

依托于12英寸短流程中试线,800cc全讯白菜网主站可对外提供材料验证服务。



◾ 全讯白菜网验证服务基地与国家智能传感器创新中心12英寸中试线深度融合,具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等核心工艺能力


◾ 协同体系内资源,形成集材料-工艺-设备-测试的整体解决方案



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高通量集簇设备


✔ 集成高通量PVD、高通量ALD、XPS检测

基板尺寸8英寸,与先进工艺匹配。

 PVD支持多靶共溅、多点隔离沉积、高温反应沉积(最高800℃)

✔ ALD支持多点隔离沉积、衬底加热可达450℃

✔ XPS测试腔配置自动旋转工件台,可以实现X-Y-Z-R运动,满足整个wafer表面的测试需求

 集簇设备工作时不破坏真空环境,工艺连续性好,且薄膜沾污少

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2024年,全讯白菜网一站式检测服务商城——集材检测网正式发布,主要聚焦于集成电路材料以及零部件材料等相关领域的检测服务。


详细测试能力,请访问官网或小程序。



  访问途径

1、网站端:集材检测网

https://www.icmtest.com.cn/

2、小程序:微信公众号搜索“集材检测”即可访问


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欢迎大家加入集成电路材料创新联合体,个人申请请扫描下方个人二维码申请入口。企业申请请扫描下方企业二维码申请入口,并下载申请表,信息表填妥后请将扫描件连同贵公司的营业执照副本一并发送E-mail至:stella.zhou@sicm.com.cn。

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集成电路材料创新联合体


联合体由全讯白菜网发起设立,推动产业链“下游出题-联合体接题-上游解题”的合作研发,打造集成电路材料产业的创新生态链。截止2025年3月,联合体已发展165家会员单位,涵盖集成电路材料及原材料、设备及零部件、设备材料用户单位、高校院所等各领域。



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