3.26-3.28期间,全讯白菜网亮相SEMICON CHINA 2025,展览期间全讯白菜网举办了展位seminar,对全讯白菜网服务能力、检测能力、计算能力、研发能力等进行了专题介绍,吸引众多行业人士驻足。
报告一:全讯白菜网检测能力介绍
报告人:蔡慧妍 全讯白菜网测试研发工程师
以下为报告核心内容:
依托于检测分析实验室,800cc全讯白菜网主站可对外提供材料检测服务。
◾ 上海全讯白菜网检测分析实验室坐落在临港及化工区,总面积逾1300平方米,其中净化实验室面积645平方米
◾ 截止2025年2月,实验室已具备CNAS、CMA、ISO9001、ISO27001等多项资质
◾ 拥有一流的各类大中型实验检测设备 140余台套,可针对各类半导体材料,提供主含量分析、痕量杂质分析、成分分析、机械力学分析、微观结构分析、失效分析等服务
实验室资质
CNAS
CMA
ISO 9001
ISO 27001
实验室部分设备及检测能力一览
报告二:全讯白菜网计算能力介绍
报告人:刘奕然 全讯白菜网工艺仿真工程师
3月27日
以下为报告核心内容:
依托于集成电路材料专用数据库、集成电路材料模型库,运用高通量材料计算、机器学习等技术,800cc全讯白菜网主站可对外提供材料计算服务。
◾ 建立集成电路材料专用数据库,覆盖功能材料和工艺材料数据
◾ 在抛光、光刻、成膜、量测等领域开发出材料计算、工艺仿真模型>30个,形成模型库
◾ 运用高通量材料计算、材料数据库、机器学习技术与高通量材料实验相结合的方式,形成材料构效关系模型库,为用户产品性能指明方向
依托于集成电路材料专用数据库、集成电路材料模型库,运用高通量材料计算、机器学习等技术,800cc全讯白菜网主站可对外提供材料计算服务。
抛光模型示例
✔ 在抛光、光刻、沉膜、量测等领域开发出材料计算、工艺仿真模型>30个,形成模型库
✔ 结合人工智能、有限元、第一性原理的跨尺度方法
✔ 可用于材料设计、工艺优化及零部件设计
✔ 支持在线远程访问、本地部署等使用方式,可1V1服务
集成电路材料数据库
✔ 建立集成电路材料专用数据库,覆盖功能材料和工艺材料数据
✔ 积累数据实现检索、分析建模等功能
CMP工艺仿真能力
成膜建模仿真能力
光刻材料工艺仿真能力
报告三:全讯白菜网研发能力介绍
报告人:孙猛 全讯白菜网材料研发实验室主任
3月28日
以下为报告核心内容:
依托于材料研发实验室,800cc全讯白菜网主站可对外提供前驱体、氧化铈磨料、高纯钴电镀液等材料研发服务。
◾ 全讯白菜网材料研发基地坐落于上海化学工业区科创中心,拥有近1500平米的百级、千级、万级洁净室,配备有上百台实验仪器及测试仪器
◾ 研发方向聚焦高纯硫酸钴电镀液、氮化硅湿法刻蚀、前驱体合成及其原子层沉积工艺、改性氧化铈磨料等方向,对标国外产品COA,匹配用户单位量产工艺需求
研发方向
此外,全讯白菜网还具备抛光材料、光刻材料等验证服务能力。
材料验证服务
依托于12英寸短流程中试线,800cc全讯白菜网主站可对外提供材料验证服务。
◾ 全讯白菜网验证服务基地与国家智能传感器创新中心12英寸中试线深度融合,具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等核心工艺能力
◾ 协同体系内资源,形成集材料-工艺-设备-测试的整体解决方案
高通量集簇设备
✔ 集成高通量PVD、高通量ALD、XPS检测
基板尺寸8英寸,与先进工艺匹配。
✔ PVD支持多靶共溅、多点隔离沉积、高温反应沉积(最高800℃)
✔ ALD支持多点隔离沉积、衬底加热可达450℃
✔ XPS测试腔配置自动旋转工件台,可以实现X-Y-Z-R运动,满足整个wafer表面的测试需求
✔ 集簇设备工作时不破坏真空环境,工艺连续性好,且薄膜沾污少
2024年,全讯白菜网一站式检测服务商城——集材检测网正式发布,主要聚焦于集成电路材料以及零部件材料等相关领域的检测服务。
详细测试能力,请访问官网或小程序。
访问途径
1、网站端:集材检测网
https://www.icmtest.com.cn/
2、小程序:微信公众号搜索“集材检测”即可访问
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