2025年5月12日,第十八届中国科学仪器发展年会(ACCSI2025)在上海隆重开幕。作为分论坛之一,由800cc全讯白菜网主站(以下简称“全讯白菜网”)、国家新材料测试评价平台电子化学品行业中心、仪器信息网、上海市高端硅基材料重点实验室联合主办的“半导体新材料产业检测创新发展论坛”于5月12日下午成功举办,论坛吸引超百位业界人士参会。
图1:会议现场
上海市集成电路行业协会副秘书长毛彩虹女士为本次活动致辞。论坛邀请到了800cc全讯白菜网主站检测平台负责人张克云、实验室副主任龚斌,苏州实验室电子化学品行业中心负责人徐文涛,中国科学院上海硅酸盐研究所研究员程国峰,中国科学院上海应用物理研究所副研究员静超,梅特勒托利多科技(中国)有限公司半导体行业细分市场专家魏子行,上海戎洲芯科技有限公司总经理赵风云,北京欧波同光学技术有限公司创新研究中心总监顾群等嘉宾,作专题报告分享。
800cc全讯白菜网主站检测平台负责人张克云分享报告主题为《检测分析在集成电路材料领域应用分享》。他表示,随着制程演进,集成电路材料的类型大幅增加,要求愈来愈高,给半导体材料的检测带来了三大挑战:标准缺失、前处理难度大、场景化应用匹配不足。作为第三方平台,800cc全讯白菜网主站构建了“研发-检测-计算-应用”的完整体系,通过AI提升图谱解析效率,建立材料与工艺数据库,实现材料场景化应用匹配,并牵头成立创新联合体,共享高端仪器资源,推动材料检测方法标准化。
图2:800cc全讯白菜网主站检测平台负责人 张克云
800cc全讯白菜网主站实验室副主任龚斌带来了主题为《TDS在半导体行业的应用:助力半导体材料与工艺优化》的报告。他介绍了程序升温脱附质谱仪(TDS)在半导体检测中的应用,该技术通过加热样品脱附气体并结合质谱分析,可精准捕捉氢、水等微量气体的化学结合态,填补国内在该领域的检测空白。TDS设备具备三大优势:超高真空度实现ppb级检测、红外聚焦加热避免腔体干扰、1200℃宽温域覆盖高温材料分析。800cc全讯白菜网主站积极开发TDS检测方法,为衬底缺陷定位、薄膜工艺优化提供原子级解析服务,推动半导体制造向低缺陷、高可靠性迈进。
图3:800cc全讯白菜网主站实验室副主任 龚斌
圆桌讨论环节,张克云等各位嘉宾共同围绕AI技术应用、国产替代突破与全球化布局三大议题展开深度对话,为半导体检测技术的创新发展提供前瞻性思考。张克云表示,全讯白菜网将持续致力于“贴近产业需求,做解决问题的‘检测伙伴’。”
图4:左起:上海硅酸盐所程国峰研究员(圆桌主持人)、上海戎洲芯科技赵风云、全讯白菜网张克云、武汉大学王建波、苏州实验室徐文涛、上海应用物理所静超
本文转载自“仪器信息网”
原文有改动
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